Описание
Нитрид тантала (TaN), мононитрид тантала — тугоплавкое соединение тантала с азотом. Порошок высокой плотности 14,6 г/см³ с температурой плавления 3360 °C, в воде нерастворим. Отличается высокой твёрдостью, износостойкостью, химической инертностью, термической стабильностью и низким температурным коэффициентом сопротивления. Последнее свойство и определило главное применение материала — тонкоплёночные резисторы.
Идентификация
- CAS №: 12033-62-4
- Химическая формула: NTa (TaN)
- Номер ЕС: 234-788-4
- Идентификатор DSSTox: DTXSID6065183
- Английское название: Tantalum nitride (TaN)
- Синонимы: нитрид тантала (TaN); мононитрид тантала; нитрид тантала; нитрид тантала Ta0,5N0,5
- Дополнительный регистрационный номер: 11116-09-9
- Раздел: неорганические соли
Основные атрибуты
- Молекулярный вес: 194,95
- Точная масса: 194,951
- Внешний вид: порошок
- Плотность: 14,6 г/см³
- Температура плавления: 3360 °C
- Растворимость в воде: нерастворим в воде
- Характеристики PSA: 23,8
- XLogP3: 0,01508
Тонкоплёночные резисторы
Плёнки нитрида тантала осаждают на кремниевые пластины при изготовлении интегральных схем и получают тонкоплёночные резисторы для поверхностного монтажа. Ценность материала в стабильности номинала: сопротивление резистора на основе TaN изменяется всего на 0,05 % за десять лет эксплуатации. Удельное сопротивление плёнок, полученных магнетронным распылением на постоянном токе, лежит в диапазоне от 200 до 1000 мкОм·см и задаётся режимом осаждения и фазовым составом.
Диффузионный барьер
Второе применение в микроэлектронике — барьерный и адгезионный слой между медными межсоединениями на завершающих стадиях изготовления кристалла. Медь легко диффундирует в кремний и разрушает приборные структуры; нитрид тантала останавливает эту диффузию и сохраняет барьерные свойства при высоких температурах, поэтому система медь-кремний с промежуточным слоем TaN устойчива в течение всего технологического маршрута. Тот же слой служит связующим подслоем для последующей металлизации.
Область применения
- тонкоплёночные резисторы для поверхностного монтажа и прецизионных схем
- диффузионные барьеры и адгезионные слои в медной металлизации интегральных схем
- изолирующие слои между проводниками
- износостойкие и твёрдые покрытия инструмента и деталей
- мишени для магнетронного распыления, пластины с нанесённой плёнкой TaN для исследовательских задач
Информация по технике безопасности
- WGK Германия: 3
Хранение и обращение
Хранить в закрытой таре в сухом помещении, отдельно от сильных окислителей. Материал химически инертен и в воде не растворяется. При развеске тонкодисперсного порошка применять местную вытяжку, респиратор и перчатки, не допускать пыления.
Description
Tantalum nitride (TaN), tantalum mononitride, is a refractory compound of tantalum and nitrogen. High density powder 14.6 g/cm³ with a melting point of 3360 °C, insoluble in water. It is characterized by high hardness, wear resistance, chemical inertness, thermal stability and low temperature coefficient of resistance. The latter property determined the main application of the material - thin-film resistors.
Identification
- CAS No: 12033-62-4
- Chemical formula: NTa (TaN)
- EU number: 234-788-4
- DSSTox ID: DTXSID6065183
- English name: Tantalum nitride (TaN)
- Synonyms: tantalum nitride (TaN); tantalum mononitride; tantalum nitride; tantalum nitride Ta0.5N0.5
- Additional registration number: 11116-09-9
- Section: inorganic salts
Basic Attributes
- Molecular Weight: 194.95
- Exact weight: 194.951
- Appearance: Powder
- Density: 14.6 g/cm³
- Melting point: 3360 °C
- Solubility in water: insoluble in water
- PSA specifications: 23.8
- XLogP3: 0.01508
Thin film resistors
Tantalum nitride films are deposited on silicon wafers during the manufacture of integrated circuits to produce thin-film surface-mount resistors. The value of the material lies in its nominal stability: the resistance of a TaN-based resistor changes by only 0.05% over ten years of operation. The resistivity of films obtained by magnetron sputtering at direct current lies in the range from 200 to 1000 μΩ cm and is determined by the deposition mode and phase composition.
Diffusion barrier
The second application in microelectronics is as a barrier and adhesion layer between copper interconnects during the final stages of chip fabrication. Copper easily diffuses into silicon and destroys device structures; Tantalum nitride stops this diffusion and maintains barrier properties at high temperatures, so the copper-silicon system with an intermediate TaN layer is stable throughout the entire process route. The same layer serves as a binding sublayer for subsequent metallization.
Scope of application
- thin film resistors for surface mount and precision circuits
- diffusion barriers and adhesion layers in copper metallization of integrated circuits
- insulating layers between conductors
- wear-resistant and hard coatings for tools and parts
- targets for magnetron sputtering, plates coated with TaN film for research purposes
Safety Information
- WGK Germany: 3
Storage and handling
Store in a closed container in a dry place, away from strong oxidizing agents. The material is chemically inert and does not dissolve in water. When hanging fine powder, use a local exhaust hood, a respirator and gloves, and avoid dust.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. Нитрид тантала (TaN) от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |
