Описание
CE(TMHD)4 (тетракис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато)церий(IV)) — летучий бета-дикетонатный координационный комплекс церия в степени окисления +4, широко применяемый как MOCVD/ALD-прекурсор для газофазного осаждения тонких плёнок оксида церия и церий-содержащих материалов. Высокая летучесть и термическая стабильность комплекса при умеренных температурах делают его удобным источником церия для процессов химического осаждения из газовой фазы.
Основные атрибуты
- CAS №: 18960-54-8
- Химическая формула: C22H38CeO4
- Английское название: CE(TMHD)4
- Молекулярный вес: 506,65
- Точная масса: 506,182
- Номер NSC: 174882
- Код ТН ВЭД (HS code): 28469099
- Характеристики PSA: 52,60
- XLogP3: 6,025
Физико-химические характеристики
- Внешний вид: красный порошок
- Температура плавления: 275–280 °C
- Температура кипения: 140 °C при 0,05 мм рт. ст.
- Температура вспышки: 67,2 °C
Синонимы
Тетракис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато)церий(IV), Ce(TMHD)4, Ce(dpm)4, церий-DPM, церийтетраметилгептандионат.
Область применения
Прекурсор для MOCVD и ALD-роста высокотекстурированных плёнок CeO2 на сапфировых и других подложках; плёнки диоксида церия используются как буферные слои для высокотемпературных сверхпроводников, диэлектрики затвора в электронике, прозрачные проводящие оксидные покрытия. Также применяется при получении легированных церием сульфидных люминофоров (SrS:Ce) и в исследованиях гидрофобных покрытий на основе церийсодержащих плёнок.
Информация по технике безопасности
- Код класса опасности: 36/37/38 — раздражает глаза, дыхательные пути и кожу
- Инструкции по технике безопасности: 26-36/37/39
Особенности применения в технологии
Летучесть комплекса при пониженном давлении (кипение 140 °C при 0,05 мм рт. ст.) в сочетании с термической стабильностью до температуры плавления 275–280 °C обеспечивает воспроизводимую сублимацию без разложения — ключевое требование к прекурсорам MOCVD/ALD, поскольку преждевременное термическое разложение приводит к загрязнению осаждаемой плёнки углеродом и неконтролируемому составу покрытия.
Хранение
Хранить в герметичной таре, в сухом помещении, вдали от источников открытого огня — температура вспышки 67,2 °C относительно невысока для твёрдого порошка. При работе использовать средства защиты глаз, дыхания и кожи в соответствии с указанными кодами раздражающего действия.
Альтернативные прекурсоры церия
Наряду с бета-дикетонатными комплексами типа CE(TMHD)4, в MOCVD/ALD-технологиях применяются и другие классы церийсодержащих прекурсоров — амидинаты, циклопентадиенильные и алкоксидные соединения церия, отличающиеся температурой сублимации и склонностью к образованию побочных углеродных примесей в плёнке; выбор конкретного прекурсора определяется требуемой температурой процесса и целевой чистотой покрытия.
Description
CE(TMHD)4 (tetrakis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)cerium(IV)) is a volatile beta-diketonate coordination complex of cerium in the +4 oxidation state, widely used as a MOCVD/ALD precursor for the gas-phase deposition of thin films of cerium oxide and cerium-containing materials. The high volatility and thermal stability of the complex at moderate temperatures make it a convenient source of cerium for chemical vapor deposition processes.
Basic Attributes
- CAS No.: 18960-54-8
- Chemical formula: C22H38CeO4
- English name: CE(TMHD)4
- Molecular Weight: 506.65
- Exact weight: 506.182
- NSC Number: 174882
- HS code: 28469099
- PSA specifications: 52.60
- XLogP3: 6.025
Physico-chemical characteristics
- Appearance: red powder
- Melting point: 275–280 °C
- Boiling point: 140 °C at 0.05 mm Hg. Art.
- Flash point: 67.2 °C
Synonyms
Tetrakis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)cerium(IV), Ce(TMHD)4, Ce(dpm)4, cerium-DPM, cerium tetramethylheptanedione.
Scope of application
Precursor for MOCVD and ALD growth of highly textured CeO2 films on sapphire and other substrates; Cerium dioxide films are used as buffer layers for high-temperature superconductors, gate dielectrics in electronics, and transparent conductive oxide coatings. It is also used in the production of cerium-doped sulfide phosphors (SrS:Ce) and in the study of hydrophobic coatings based on cerium-containing films.
Safety Information
- Hazard class code: 36/37/38 - irritating to eyes, respiratory tract and skin
- Safety instructions: 26-36/37/39
Features of application in technology
The volatility of the complex under reduced pressure (boiling 140 °C at 0.05 mmHg) combined with thermal stability to a melting point of 275–280 °C provides reproducible sublimation without decomposition - a key requirement for MOCVD/ALD precursors, since premature thermal decomposition leads to carbon contamination of the deposited film and uncontrolled composition coverings.
Storage
Store in an airtight container in a dry place, away from open flames - the flash point of 67.2 °C is relatively low for a solid powder. When working, use eye, respiratory and skin protection in accordance with the specified irritation codes.
Alternative cerium precursors
Along with beta-diketonate complexes of the CE(TMHD)4 type, MOCVD/ALD technologies also use other classes of cerium-containing precursors—amidinates, cyclopentadienyl and alkoxide compounds of cerium, which differ in sublimation temperature and tendency to form by-products of carbon impurities in the film; The choice of a specific precursor is determined by the required process temperature and the target coating purity.
Почему мы
Доставка продукции в регионы
Русский Торговый Холдинг" осуществляет поставку промышленной химии и химического сырья во все города России и СНГ: Санкт-Петербург, Москву, Казань, Нижний Новгород, Пермь, Екатеринбург, Воронеж, Самару, Уфу, Челябинск, Омск, Новосибирск, Волгоград, Ростов-на-Дону, Красноярск, Республику Татарстан, Республику Башкортостан, Чувашскую Республику, Республику Мордовия, Республику Марий Эл.
Подробности уточняйте по телефону +7 831 282-10-90.
О компании
"Русский Торговый Холдинг" является ведущим поставщиком оптовых продаж химической промышленности и нефтепродуктов. Мы обеспечиваем прямые поставки продукции от ведущих заводов, предлагая широкий спектр продукции. CE (TMHD)4 от "Русский Торговый Холдинг" соответствует стандартам качества ГОСТ, ТУ, обеспечивая высокую степень чистоты и безопасности в соответствии с отраслевыми требованиями.
Наша компания специализируется не только на продаже продукции российских производителей, но и предоставляет доступ к продукции зарубежных партнеров. Это расширяет возможности выбора и обеспечивает доступ к продукции мирового стандарта.Кроме того, мы предлагаем услуги контрактного производства, что позволяет заказчикам получить индивидуальные химические решения, соответствующие их конкретным потребностям.
Вся продукция сопровождается полным пакетом документов, подтверждающих её качество и соответствие установленным требованиям. В комплект входят сертификаты производителя, паспорта, а также иные подтверждающие документы, содержащие информацию о составе и свойствах сырья. Это позволяет гарантировать соответствие продукции действующим стандартам, включая ГОСТ, ТУ и международные регламенты, и обеспечивает прозрачность при её использовании в различных отраслях промышленности.
Для перевозки поставляемых продуктов мы используем тару высокого качества и соответствующую спецтехнику: мешки, канистры, бочки, еврокубы, автоцистерны, ж/д цистерны. Доставка химической продукции осуществляется подходящими видами транспорта по ПФО и ЦФО.
Работаем со всеми известными зарубежными производителями. Берём на себя гарантии и ответственность за все внешнеэкономические связи. Наиболее востребованные страны, из которых импортируем продукты: Китай, Казахстан, Польша, Турция, Индия. Если необходимой страны производителя нет в списке, оставьте заявку. Наш отдел ВЭД организует связи с поставщиками из любых стран.
Доставка отгружаемой продукции осуществляется спецтранспортом с полным комплектом сопровождающей документации и необходимых разрешений.
Доставка по всей России удобным для клиента способом (тип тары, логистика). География поставок: от Белгорода до Хабаровска и от Санкт-Петербурга до Краснодара.
ООО "Русский Торговый Холдинг" — оптовая компания. Все сделки сопровождаются полным набором юридических документов. Работаем по ЭДО и классическому документообороту.
Виды оплаты, с которыми мы работаем:
- Предоплата (размер предоплаты обговаривается индивидуально с вашим менеджером и зависит от объёмов поставки, срока и логистических деталей).
- Оплата по факту отгрузки продукции.
- Отсрочка оплат для действующих клиентов.
|
Мешки по 25 кг. для сыпучих продуктов |
|
Пластиковые канистры 25 литров, 30 литров |
|
Пластиковые и металлические бочки 227 л. |
|
Еврокубы 1000 л. |
|
Автоцистерны различного объёма |
|
Железнодорожные цистерны стандартного объёма |

