CE (TMHD)4

Описание

CE(TMHD)4 (тетракис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато)церий(IV)) — летучий бета-дикетонатный координационный комплекс церия в степени окисления +4, широко применяемый как MOCVD/ALD-прекурсор для газофазного осаждения тонких плёнок оксида церия и церий-содержащих материалов. Высокая летучесть и термическая стабильность комплекса при умеренных температурах делают его удобным источником церия для процессов химического осаждения из газовой фазы.

Основные атрибуты

• CAS №: 18960-54-8
• Химическая формула: C22H38CeO4
• Английское название: CE(TMHD)4
• Молекулярный вес: 506,65
• Точная масса: 506,182
• Номер NSC: 174882
• Код ТН ВЭД (HS code): 28469099
• Характеристики PSA: 52,60
• XLogP3: 6,025

Физико-химические характеристики

• Внешний вид: красный порошок
• Температура плавления: 275–280 °C
• Температура кипения: 140 °C при 0,05 мм рт. ст.
• Температура вспышки: 67,2 °C

Синонимы

Тетракис(2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионато)церий(IV), Ce(TMHD)4, Ce(dpm)4, церий-DPM, церийтетраметилгептандионат.

Область применения

Прекурсор для MOCVD и ALD-роста высокотекстурированных плёнок CeO2 на сапфировых и других подложках; плёнки диоксида церия используются как буферные слои для высокотемпературных сверхпроводников, диэлектрики затвора в электронике, прозрачные проводящие оксидные покрытия. Также применяется при получении легированных церием сульфидных люминофоров (SrS:Ce) и в исследованиях гидрофобных покрытий на основе церийсодержащих плёнок.

Информация по технике безопасности

• Код класса опасности: 36/37/38 — раздражает глаза, дыхательные пути и кожу
• Инструкции по технике безопасности: 26-36/37/39

Особенности применения в технологии

Летучесть комплекса при пониженном давлении (кипение 140 °C при 0,05 мм рт. ст.) в сочетании с термической стабильностью до температуры плавления 275–280 °C обеспечивает воспроизводимую сублимацию без разложения — ключевое требование к прекурсорам MOCVD/ALD, поскольку преждевременное термическое разложение приводит к загрязнению осаждаемой плёнки углеродом и неконтролируемому составу покрытия.

Хранение

Хранить в герметичной таре, в сухом помещении, вдали от источников открытого огня — температура вспышки 67,2 °C относительно невысока для твёрдого порошка. При работе использовать средства защиты глаз, дыхания и кожи в соответствии с указанными кодами раздражающего действия.

Альтернативные прекурсоры церия

Наряду с бета-дикетонатными комплексами типа CE(TMHD)4, в MOCVD/ALD-технологиях применяются и другие классы церийсодержащих прекурсоров — амидинаты, циклопентадиенильные и алкоксидные соединения церия, отличающиеся температурой сублимации и склонностью к образованию побочных углеродных примесей в плёнке; выбор конкретного прекурсора определяется требуемой температурой процесса и целевой чистотой покрытия.