ИЗОПРОПОКСИД ГАЛЛИЯ(III)

Описание

Изопропоксид галлия(III), Ga(OiPr)3 — металлоорганический алкоксидный комплекс галлия, применяемый как летучий прекурсор в технологиях осаждения тонких плёнок оксида галлия.

Идентификация

• Английское название: GALLIUM(III) ISOPROPOXIDE
• CAS №: 4452-61-3
• Химическая формула: C9H21GaO3
• Идентификатор DSSTox: DTXSID60722034
• Код ТН ВЭД (HS code): 29051220
• Синонимы: Gallium i-propoxide, Gallium isopropoxide, Gallium tri-i-propoxide

Физико-химические характеристики

• Молекулярный вес: 246,98
• Точная масса: 246,075
• Плотность: 1,35
• Температура кипения: 120 °C при 1,0 мм рт. ст.
• Температура вспышки: 120 °C при 1,0 мм рт. ст.
• Растворимость в воде: вступает в реакцию с водой
• Характеристики PSA: 27,69
• XLogP3: 2,2463

Класс вещества и применение

Гомолептический алкоксидный комплекс галлия, применяемый как однокомпонентный прекурсор в металлоорганическом химическом осаждении из газовой фазы (MOCVD) аморфных и стехиометрических плёнок оксида галлия Ga2O3 на подложках, включая кремний, в диапазоне температур подложки 400–800 °C, со стехиометрическими плёнками при 500–600 °C. Более технологичным производным того же семейства прекурсоров считается диметилгаллий изопропоксид (DMGIP) — непирофорная жидкость с достаточным давлением пара для ALD в температурном окне 280–300 °C (скорость роста около 0,3 Å за цикл с водой в качестве источника кислорода) и для MOCVD в кислороде при 450–625 °C. Триизопропоксид галлия также применяют для низкотемпературного ALD (150–250 °C) с водой в качестве окислителя.

Информация по технике безопасности

• Уровень упаковки: II
• Категория опасности: 4.1
• Транспортные коды: UN 2925

Хранение и транспортировка

Реагирует с водой — хранить в герметичной таре в инертной атмосфере или в сухом помещении, исключая контакт с влагой воздуха. Учитывать категорию опасности 4.1 (легковоспламеняющиеся твёрдые вещества) при транспортировке и складировании, изолировать от источников воспламенения.

Место в семействе алкоксидов галлия

Изопропоксид входит в один ряд прекурсоров с этоксидом галлия — оба соединения гомолептические алкоксидные комплексы, различающиеся длиной и разветвлённостью алкильной цепи лиганда. Более объёмная изопропильная группа по сравнению с этильной определяет иную летучесть, температуру разложения и скорость гидролиза комплекса, что технологи учитывают при выборе конкретного прекурсора под параметры установки MOCVD или ALD.

Роль в производстве оксида галлия

Растущий интерес к оксиду галлия Ga2O3 как материалу силовой электроники со сверхширокой запрещённой зоной поддерживает спрос на разнообразные летучие прекурсоры галлия, включая гомолептические и смешаннолигандные алкоксиды. Выбор между изопропоксидом, его метилированными производными (DMGIP) и триизопропоксидной формой определяется требуемым температурным окном процесса осаждения и допустимой скоростью роста плёнки.